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真空ポンプ用パーフルオロポリエーテル(PFPE)オイル

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真空ポンプ用パーフルオロポリエーテル(PFPE)オイル

2025年4月25日
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パーフルオロポリエーテル PFPE オイルは、熱的に安定しており、化学的に不活性で、非常に高温でも金属、水素化ポリマー、酸素、および攻撃的なガスと互換性があります。不燃性で無毒です。

PFPE オイルは、特定の真空ポンプ構造向けに特別に設計されており、その独自の特性により大きな利点がもたらされます。

ニーズに合った真空ポンプオイル選びにお困りなら、ここが最適な場所です。本日は、パーフルオロポリエーテル(PFPE)に焦点を当てます。 真空ポンプオイル - どのタイプのポンプに最も適しているか、また他の真空ポンプ オイルとどう違うかを説明します。

1.PFPE オイルに最適な真空ポンプのタイプは何ですか?

ロータリーベーン真空ポンプ

PFPE オイルは、ベーンとステーターの間の優れた密閉性を提供し、摩擦を減らし、厳しい動作条件下でも最適なパフォーマンスを維持するため、ロータリーベーンポンプに最適です。フォンブリンY 25/6 PFPE オイルは、Vanes 真空ポンプ用の一般的な PFPF 真空ポンプ オイルです。

拡散ポンプ

PFPEオイルは蒸気圧が極めて低いため、逆流を最小限に抑える必要がある拡散ポンプに最適です。蒸気ジェットの形成に必要な高温下でも安定性を維持します。

ターボ分子ポンプ

ターボ分子ポンプのベアリング潤滑の場合、PFPE オイルは最小限のガス放出で必要な性能を提供し、最高の真空レベルを確実に達成します。

2.PFPE真空オイルの主な特性

√ 極めて低い蒸気圧: 通常、20°C で 10-10 ~ 10-13 torr であり、超高真空性能を実現します。
√ 化学的不活性: ほとんどの化学物質、酸、塩基、酸化剤に対して耐性があります。
√ 幅広い温度性能: 極端に高い温度から低い温度までの用途に使用できます。
√ 耐放射線性: 電離放射線にさらされても特性を維持します。
√ 不燃性: 燃えたり燃焼を促進したりしないため、安全性が向上します。
√ 長寿命: メンテナンスの頻度と運用コストを削減します。
√ 酸素適合性: 酸化のリスクがなく、酸素が豊富な環境で安全に使用できます。

PFPEオイルと他の真空ポンプオイルの違い鉱物油および合成炭化水素油と比較して

財産 PFPEオイル ミネラルオイル 合成炭化水素油
20℃における蒸気圧

10-1010まで-13トル

10-710まで-8トル

10-810まで-9トル

究極の真空を実現

10-910まで-10ミリバール

10-310まで-4ミリバール

10-510まで-6ミリバール

温度範囲 -90℃~+250℃ -10℃~+150℃ -40℃~+200℃
耐薬品性 素晴らしい 貧しい 適度
耐酸化性 素晴らしい 貧しい 良い
放射線耐性 素晴らしい 貧しい 適度
耐用年数 非常に長い 短い 適度
料金 高い 低い 適度

PFPEオイルが不可欠な用途

√ 半導体製造:超高真空と化学的清浄度が重要となる場所。

√ 実験室研究: 汚染を最小限に抑える必要がある繊細な科学機器向け。

√ 宇宙シミュレーションチャンバー:​​ 極限条件と信頼性が最も重要となる場所。

√ 化学処理: 強力な化学物質やガスが存在する環境。

√ 医薬品製造:製品の純度が重要になります。

√ 原子力用途:耐放射線特性による。

√ 酸素サービス: 従来のオイルでは安全上の危険が生じる場合。